Aller au menu Aller au contenu
Evénements de l'IMEP-LAHC
Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
Evénements de l'IMEP-LAHC
Evénements de l'IMEP-LAHC

> Evénements > Evénements-Séminaires

Génération de second harmonique pour la caractérisation des matériaux et interfaces de semi-conducteurs.

Publié le 17 mai 2022
A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentEnvoyer cette page par mail cet article Facebook Twitter Linked In
Colloque / Séminaire 25 mai 2022 | Plan d'accès
Salle BELLEDONNE et VIDEOCONFERENCE
OBEID Baydaa

Génération de second harmonique pour la caractérisation des matériaux et interfaces de semi-conducteurs

OBEID Baydaa

OBEID Baydaa

Mercredi 25 Mai 2022 à 13h
 
Dans des applications telles que les capteurs d'image ou les cellules solaires, les performances du dispositif peuvent être améliorées grâce à la passivation du silicium à l'aide des diélectriques  high-k tels que l'alumine, le dioxyde d'hafnium, etc. Pour évaluer la qualité de l'interface diélectrique-semi-conducteur, des techniques classiques de caractérisation électrique peuvent être appliquées, mais elles nécessitent la fabrication de dispositifs de test dédiés. Dans ce projet, nous développons une méthode de caractérisation innovante basée sur un phénomène d'optique non linéaire, qui est la génération de seconde harmonique (SHG). La particularité de la SHG pour les matériaux centrosymétriques (tels que Si, Al2O3, HfO2…) est que le signal provenant principalement des contributions des interfaces, est extrêmement sensible au champ électrique qui y est présent (EDC). Ce champ électrique d’'interface diélectrique-semi-conducteur est lié à des charges fixes (Qox) et/ou des états d'interface (Dit), le signal SHG peut donc donner accès à ces deux paramètres. Dans la présentation je montrerai nos derniers résultats expérimentaux et de simulation de la SHG sur couches de passivation.
 
A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentEnvoyer cette page par mail cet article Facebook Twitter Linked In

mise à jour le 7 juin 2022

anglais
CROMA
Site de Grenoble
Grenoble INP - Minatec - 3, Parvis Louis Néel , CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1

Site de Chambéry
Université Savoie Mont Blanc - Rue Lac de la Thuile, Bat. 21 - 73370 Le Bourget du Lac
 
 
République Française         Logo CNRS_2019       Logo Grenoble INP - UGA Université Grenoble Alpes      Université Savoie Mont Blanc
Université Grenoble Alpes