Centre de Radiofréquences, Optique et Micro-nanoélectronique des Alpes
Impact de la dimensionnalité et des charges de surface sur la réponse piézoélectrique des nanofils de ZnO synthétisés par MOCVD
Lisa LEGARDINIER
Lundi 6 Mai 2024 à 14h
Résumé :
En tant que semi-conducteur abondant et durable avec des coefficients piézoélectriques relativement élevés, le ZnO est apparu comme un matériau prometteur pour les applications piézoélectriques. En particulier, sa morphologie de nanofil a démontré de meilleures performances en comparaison avec les films minces. Cependant, les porteurs de charge libres et les pièges de surface sont susceptibles d'influer sur leur réponse piézoélectrique. Plusieurs stratégies visant à moduler ces paramètres sont étudiées dans ce travail. L'amélioration des propriétés piézoélectriques des nanofils de ZnO synthétisés par MOCVD est d'abord étudiée en variant et en optimisant leurs dimensions. Plusieurs méthodes de traitement post-croissance sont ensuite utilisées et analysées afin de comparer leur impact sur une variété de paramètres. Enfin, le développement de structures cœur-coquille intégrant du Ga2O3 est exploré.