Soutenance de thèse de Louise DE CONTI

L'objectif de la thèse était de concevoir des composants de protection contre les décharges électrostatiques (ESD) sur film mince de silicium en technologie 28nm FD-SOI de chez STMicroelectronics (technologie silicium sur isolant « SiliconOn-Insulator » (SOI) entièrement déplété « Fully Depleted » (FD)). Cette technologie est caractérisée par un film de silicium, un oxyde enterré ultra minces (UTBB), et par une grille métallique avec oxyde à haute permittivité (high-k). En prenant en compte ces caractéristiques, . des composants existants ont été étudiés et de nouvelles solulions technologiques ont .été proposées pour les améliorer.
De plus, de nouveaux composants' ont été élaborés. Ils ont été simulés en 3D avec le logiciel TCAD afin de comprendre leur comportement électrique. Des plaques de silicium ont été mesurées afin de vérifier la réponse des composants lors de tests typiques pour les ESD. Ce travail ouvre la voie pour des composants de. protection contre les décharges électrostatiques conçus dans le film mince avec une attention spéciale pour l'aspect 3D, tel que (i) la possibilité d'implémenter la protection dans un circuit intégré 3D monolithique, (ii) la conception de matrice en tant que composant de protection, et (iii) la fusion de différents composants pour bénéficier d'une conduction de courant en 3D.

Membres du jury :