Soutenance de thèse de Mayeul DURAND DE GEVIGNEY

Nous présentons dans cette thèse une nouvelle solution innovante pour détecter des défauts de l’ordre de 100nm (ou cent mille fois plus petit que le millimètre), sur des surfaces transparentes, tout en garantissant que ces défauts sont bien en face avant de la plaquette transparente. Nous utilisons pour cela un capteur utilisé dans la fluidique, qui en plus de l’information de puissance lumineuse diffusée, apporte une information fréquentielle sur chaque défaut, qui permet de garantir que ces défauts sont bien en face avant de la plaquette. Tout défaut en dehors de la face d’intérêt sera bien vu, mais présentera une fréquence différente que celle recherchée et pourra donc facilement être filtré.
Nous appliquons ainsi cette méthode pour l’inspection de substrats transparents pour le semi-conducteur, domaine où l’état de l’art repose sur des méthodes qui sont soit trop lentes soit qui ne permettent pas de situer sans ambigüité les défauts.

Membres du jury :
•    Pierre BENECH - Directeur de Thèse
•    Renaud BACHELOT - Rapporteur
•    Thierry BOSCH - Rapporteur
•    Isabelle SCHANEN - Examinateur