Soutenance de thèse de Jean-Baptiste HENRY

 La réduction des dimensions de transistors à effet de champ MOS a depuis quelques années ralenti à cause de l'émergence de facteurs parasites tels que la résistance d'accès. En effet, la minituarisation du canal s'est accompagnée par une diminution de sa résistance tandis que celle des zones d'accès à la frontière avec le canal est restée constante ou a augmenté.
L'objectif de cette thèse a été de mettre en place une méthodologie de caractérisation électrique prenant en compte cette composante parasite logtemps considérée négligeable dan le milieu industriel.
Dans un premier chapitre, le fonctionnement de la technologie CMOS et la spécificité de son adaptation FD-SOI sont d'abord présentées. La deuxième moitié du chapitre est quant à elle consacrée à l'état de l'art de la caractérisation électrique et de leur position vis à vis de la resistance d'accès.
Le secon chapitre présente une nouvelle méthose d'extraction des composantes parasites résistives et capacitives à l'aide de transistors de longeurs proches. Les résultats obtenus sont ensuite comparés aux modèles existants.
De ces derniers , un nouveau modèle plus physiquement petinent est proposé en fin de chapitre.
Le troisième chapitre expose une nouvelle méthode de caractérisation électrique basée sur la fonction Y qui permet une analyse du comportement d'un transistor sur l'ensemble de son régime de fonctionnement . Cette nouvelle méthode est ensuite combinée à celle développée dans le chapitre 2 pour assembler un protocole expérimentale permettant de corriger et d'analyser l'impact des résistances d'accès sur les courbes de courant et les paramètres électriques .
Finalement, le dernier chapitre applique la méthodologie vue dans le chapitre précédent à l'étude du désappariement stochastique des transistors. Les résultats obtenus sont ensuite comparés aux méthodes en vigueur dans les domaines industriel et académique qui présentent chacune meurs avantages et leurs inconvénients . La nouvelle méthode ainsi proposée tente de garder le meilleur de chacune de ces dernières.